KXR-2100定角粘接机
主要特点
1. Z面定角，对于不同切型的晶棒有更大的适应性。
2. X-ray发生器与博信其它测角机一致，功率小，安全，低成本。
3. 采用先进探测器及最新算法，扫描过程更加智能，保障高精度定角。
4. 测定与矫正分别由两套独立的高精度扫描机构完成，相互约束并相互验证，严谨的机制保障结果的安全性与可靠性。
5. 作业简单，无经验者经过几小时的简单培训，即可胜任作业。
* Z面测定重复20次的标准偏差值约为1.5″
简便的操作方式
1. 参数输入
2. 标准棒校对
3. 手动放置晶棒
4. 自动扫描并判断晶棒的姿态
5. 自动矫正晶棒的姿态
6. 对矫正后的姿态自动验证
7. 提示点胶
8. 手动点胶完成后自动进入下一支晶棒
9. 完成整板晶棒的粘接
技术参数
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电源与气源 |
输入电源 |
220V±10%，50Hz，2A |
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输入气源 |
0.5MPa,100L/min |
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X射线与探测 |
X射线管 |
铜靶，风冷，30W |
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X射线驱动电源 |
24.5KV，1mA |
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衍射方式 |
二级衍射 |
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光路调整方式 |
可控光轨调整装置 |
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探测器 |
GEIGER COUNTER |
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控制系统 |
控制系统 |
KV-5500 |
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人机界面 |
触摸屏 |
10英寸 |
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适合晶棒（可特殊指定） |
晶棒类型 |
SC、AT均可 |
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晶棒长度（mm） |
120-230 |
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定角面 |
Z面 |
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定角面高度（in） |
1、2 （KXR-2103型号适合3inch、4inch晶棒） |
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定角面粗糙度 |
不低于200号砂加工 |
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玻璃棒高度（mm） |
≤8 |
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粘料板（可特殊指定） |
长（mm） |
290 |
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宽（mm） |
160 |
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高（mm） |
16±1 |
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最多允许粘接数量（pcs) |
8 |
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一支棒（设定5次矫正） |
最小时间（sec） |
≤120 |
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最大时间（sec） |
≤300 |
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定角扫描电机 |
分辨率（arcsec) |
＜0.3 |
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姿态矫正电机 |
分辨率（arcsec) |
＜0.5 |
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直线模组 |
行程（mm） |
250 |
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允许负载（N） |
400 |
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Roll（arcsec) |
≤12 |
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数据输出 |
打印输出 |
USB（ESC/P-C) |
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定角数据输出 |
以太网接口 |
