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KXR-7515晶片角度分选机

用于AT切型石英晶片的角度自动测量和分选。

主要特点

 

1. 扫描机构采用高精度大扭矩的直驱电机,可直接带动负载,取代传统的蜗轮蜗杆机构,消除了蜗轮蜗杆机械磨损和定位精度

造成的测量误差,将角度测量过程因机械传动造成的误差降至最低。

2. 对晶片姿态与θ测量值的关系精确建模,最大化保障角度测量值的真实性。

3. 全新高灵敏度,高稳定性计数管。

4. 放大器升级,无需调零,无需调计数率,无需人工干预。

5. 晶片每片扫描并采集多个数据,采用更优异的算法,确保信号处理的稳定性和精确性。

6. 实现自动的标准晶片校准,操作简便。

7. 测片整理定位机构采用电动手指,由人机界面输入晶片尺寸参数后自动进行调节。

8. 采用新型水平投放式分选器,确保晶片平稳下落。

 

多重功能选择

 

—提供2°与35°表达方式选择

—提供机构测试界面,可对设备的每个动作进行测试调整

—提供单次静态/动态测量模式

—提供多次静态测试模式

 

统计功能

 

—动态平均值指示

—动态标准偏差值指示

—动态柱状图指示

—动态百分比指示

—CPK制程能力指数实时计算

—所有晶片按秒归档统计并提供详细柱状图

 

 

技术参数

 

外形尺寸(长宽高)

725*785*1930mm

重量

240kg

屏幕

VT5-X10(KEYENCE) 10吋触摸屏

输入电源

220V±10%,50-60Hz,1.5A

输入气源

0.5MPa,100L/min洁净气源

衍射方式

二级衍射

光路调整方式

可控光轨调整装置

操作方式

晶片装入片夹,自动±X方向辨识测量和分类

分选跨度

10″-120″任意设定

每片执行周期

约3.3s

静态重复性测试标准偏差

≤1″(500次)

可测量晶片规格

客户指定

±X方向识别方式

自动辨认(可设置不辨向)

盒装片量

约140mm高度

数据呈现

分选结果以统计表和柱状图形式显示在触摸屏上

实时提供本组晶片角度值的最大值、最小值、全距、平均值、标准偏差、CPK等统计值

数据管理

1: 通过 ETHERNET 端口与 PC 联接,上传实时数据,可在机器端追溯每片晶片的测量值。数据以.xlsx 格式保存到 PC。可接入工厂 MES 系统。2: 以截屏模式保存在本地 SD 卡。

 

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