KXR-4100系列双转角晶片测角机
用于双转角石英晶片的角度测量。
主要特点
1. 采用低功率X射线源实现双转角晶片角度的精确测量。
2. 可根据用户指定的转角范围进行产品定制。
3. 可根据用户指定的晶片规格提供自动分类方案。
统计功能
—动态中心值指示
—动态标准偏差值指示
—测量数据列表显示
—模拟分选统计
测量模式
放置一个晶片,自动整理,自动扫描测量。
技术参数
KXR-4100 |
Φ:18°30′0″- 26°00′0″ |
θ:33°15′0″- 34°30′0″ |
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KXR-4102 |
Φ:0°0′0″- 8°30′0″ |
θ:34°15′0″- 35°45′0″ |
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外形尺寸(长宽高) |
725*715*1450mm |
重量 |
198kg |
屏幕 |
8英寸触控屏 |
输入电源 |
220V±10%,50-60Hz,0.65A |
输入气源 |
0.5MPa,20L/min洁净气源 |
衍射方式 |
二级衍射 |
光路调整方式 |
可控光轨调整装置 |
操作方式 |
人工置片,自动整理±X方向辨识测量和分类 |
静态重复性测试标准偏差 |
约3″(10次,不同角度晶片会有差异) |
可测量晶片规格 |
X向:12-40mm,Z向:12-40mm |
数据呈现 |
实时提供每片数据;数据以统计表 形式显示在触控屏上 |
数据输出 |
提供以太网传输接口、SD卡 |