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KXR-4100系列双转角晶片测角机

用于双转角石英晶片的角度测量。

主要特点

 

1. 采用低功率X射线源实现双转角晶片角度的精确测量。

2. 可根据用户指定的转角范围进行产品定制。

3. 可根据用户指定的晶片规格提供自动分类方案。

 

统计功能

 

—动态中心值指示

—动态标准偏差值指示

—测量数据列表显示

—模拟分选统计

 

测量模式

 

放置一个晶片,自动整理,自动扫描测量。


技术参数

 

KXR-4100

Φ:18°30′0″- 26°00′0″

θ:33°15′0″- 34°30′0″

KXR-4102

Φ:0°0′0″- 8°30′0″

θ:34°15′0″- 35°45′0″

外形尺寸(长宽高)

725*715*1450mm

重量

198kg

屏幕

8英寸触控屏

输入电源

220V±10%,50-60Hz,0.65A

输入气源

0.5MPa,20L/min洁净气源

衍射方式

二级衍射 

光路调整方式

可控光轨调整装置

操作方式

人工置片,自动整理±X方向辨识测量和分类

静态重复性测试标准偏差

约3″(10次,不同角度晶片会有差异)

可测量晶片规格

X向:12-40mm,Z向:12-40mm

数据呈现

实时提供每片数据;数据以统计表  形式显示在触控屏上

数据输出

提供以太网传输接口、SD卡 

 

 

 

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