OLAM-F11在线研磨分析测控仪

高效的晶片在线研磨过程控制

 

—传统的研磨控制器，控制精度较低，多盘研磨时各盘中心频率离散较大。

—OLAM-F11，实现研磨过程中频率的在线精密测量，真正做到停机就可收料，实现更少的作业员管理更多的研磨机；

  高频表现比传统方法尤为稳定。

 

超凡高效

 

—拥有超高采样频率以及响应速率,可应对5.5—80MHz产品要求。

—无需中途抽测再补磨，停机即可收料，有效降低对作业员的技能要求。

—多盘研磨比传统控制方式盘间离散性降低50%，有效提升后制程效率，降低成本。

 

提升管控

 

—可连接MES系统，通过局域网下传生产工单。

—可连接条码枪扫描工单，与局域网下传到OLAM的工单信息进行核对，保障加工正确。

—实时记录和显示研磨速率及盘内离散状态，用户可制定规范，优化制程。

—全程自动记录并存储仪器的操作以及参数设置状态，可追溯整个加工过程。

—可输出生产数据，提供对研磨变量的综合智能化管控与分析的依据。

—数据可通过局域网上传至服务器或存储至本机SD卡。

 

校准补偿

 

针对不同研磨环境，可在人工输入足够多的修正点后，提供函数拟合工具进行全频段拟合校准，使全频段测试更加精确。

 

可输出内容

 

—实时研磨频率

—实时谐振频率

—实时单片和整盘散差

—谐振频率变化图

—整盘散差变化图

—历史操作记录

—异常状态提示

 

工作原理

 

研磨机启动后，OLAM扫描探测信号频率，信号经过探头耦合到上磨盘电极，当电极滑动到石英晶片上方时，检测电路依据“动态搜索算法”找到晶片的有效谐振波形，并根据最大传输法原理得到晶片的实时谐振频率平均值，当平均值达到目标频率后，仪器发出关停指令，使研磨机停机。

 

安全机制

 

1. 初始频率异常：开始进入研磨程序后，若检测到实时频率和输入的初始频率不符合时，将停机报警。

2. 速率阈值异常：当实时研磨速率超过或小于设定范围时，将停机报警。

3. 散差阈值异常：当散差与设定范围不符时，将弹出警示窗口。

4. 频率跟踪异常：当实时频率跟踪异常时，将弹出警示对话框或停机报警。

5. 圈数传感器异常：OLAM在研磨或修盘状态下，如果超过设定的时间没有圈数信号进入，将停机报警。

6. 停机异常：发出停机控制信号后机器未停，将报警。

7. 接入异常：研磨机控制接口未与OLAM可靠连接，将报警。

8. 权限管理：可设置不同的管理权限，防止参数误修改。

 

技术参数

 

外形尺寸(长宽高）	345*320*165mm
重量	7.5kg
操控界面	7英寸触控屏
适合晶片切型	AT
探测输入	全频段探头
动态测频范围	5.5-80MHz
动态测频精度	＜0.2%  2000ppm
动态测频速度	250Hz Max
数据传输	以太网和SD存储卡